OX400低濃度氧化鋯氧分析儀：
OX400-5-N-R-E-H、OX400-5-N-T-E-H、OX400-5-A-T-E-H、OX400-3-A-T-E-H
橫河電機最新推出的氧分析儀OX400，是公司在該技術的長期經驗積累和優秀業績基礎上研發出來的。
低濃度氧化鋯氧分析儀OX400的氧化鋯傳感器中采用了新型薄膜沉積專利技術，在氧化鋯元素和鉑層間建立了分子聯接。這樣不僅預防剝離，還可以減小傳感器尺寸，確保高速響應和長壽命。
低濃度氧化鋯氧分析儀OX400可用于控制和監視各種半導體應用，并控制環境，空氣泄漏入惰性氣體及其他過程。
使用壽命長，響應速度快
高性能和高可靠性
內置功能和多種自診斷功能
出眾的維護性
| 測量對象 |
惰性氣體中的氧氣濃度 （易燃性氣體、二氧化硅、腐蝕性氣體或液體（包括水蒸氣）除外） |
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| 測量系統 | 氧化鋯系統 | ||||||||
| 采樣方法 | 泵式，抽提式等 | ||||||||
| 樣氣條件 |
流速: 200 ± 25ml/min（僅用于傳感器） 溫度: 0~50℃（無結露） 濕度: 無結露 壓力: 0~300PaG 最大容許壓力: 30kPaG |
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| 測量量程 | 0-10ppm O2至0-100vol% O2 | ||||||||
| 輸出量程 |
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| 模擬輸出 |
2路輸出， 一次: 4～20mA DC（最大負載電阻: 550Ω） 二次: 可選為0~1，0~5，0~10V DC（負載電阻: 10kΩ或更大） |
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| 接點輸出 |
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| 接點輸入 | 1點: 采樣氣體吸入泵的遠程ON/OFF | ||||||||
| 自診斷 |
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| 串口通信 | RS-232，38400 bps | ||||||||
| 標定方法 | （1）3點: 10ppm，1000ppm，空氣，（2）2點: 可設定為零點氣和量程氣標定，（3）1點，（4）空氣標定 | ||||||||
| 暖機時間 | 20分以內 | ||||||||
| 電源 | 100 - 120V AC/220 - 240V AC，50/60Hz | ||||||||
| 功耗 | 100～120V AC，200VA 最大，220～240V AC，400 VA 最大 | ||||||||
| 尺寸 | 213 （W） x 132 （H） x 約375 （D） mm | ||||||||
| 質量 | 約5kg | ||||||||
| 管線連接 |
氣體入口: Rc1/4或1/4NPT內螺紋 氣體出口: Rc1/4或1/4NPT內螺紋 |
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| 環境條件 |
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符合的安全標準 和EMC標準 |
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| 重復性 | ±1%F.S.（10，100，1000 ppm，1%，10%或100%） |
| 線性 |
±2%F.S. ±3%F.S.（0~100ppm或更低） |
| 響應時間 |
90%響應 10秒內（0~1%或更高） 30秒內（小于0~1%） |
| 漂移 | ±2%F.S./周 |
